手动探針台的使用方法:
1.將樣品載入真空卡盤,開啓真空閥門控制開關,使樣品寧靜且牢固地吸附在卡盤上。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平台,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至顯微鏡下。
4.顯微鏡切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调顯微鏡聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在顯微鏡视场中心。
5.待測點位置確認好後,再調理探針座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探針座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,zui后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
6.確保針尖和被測點接觸良好後,則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除
189 4293 4571
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