半自动探針台是一種用于信息科學與系統科學領域的剖析儀器,探針台廠家生産的半自动探針台通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設備TP03000A的連接,組成一個測試平台,完成對器件封裝前的電性能測試(電阻,C/V,擊穿特性等)。
半自动探針台技术指标:
支持4,5,6寸wafer 區分率0.25um 提供4个SMU接口,可同时输出(测量)四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。
189 4293 4571
武漢市江夏區高新大道438號光谷宜科中心2號樓13A層05-06室
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