探針台：面電機XY步進事情台的維護與保養

平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y事情台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。

而定子在加工歷程中生産廠家憑據差別的設計要求如區分力等，用機加工的要領在一平面的鐵制鑄件上加工出若幹個線槽，線槽間的距離即稱爲平面電機的齒距，而定子則按差別的細分控制方法，按體例好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才華實現步進運動。對定子的損傷將直接影響事情台的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

由于平面电机的定子及动子是完全袒露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个偏向打磨定子的外貌，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子外貌出现高低不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要按期作除尘清理事情，清理时应先通入大气以便动子移动，要領是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子外貌，然后用专用工具撬起动子，要領同前， 轻擦动子外貌，动子的外貌有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质梗塞气孔，处理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0．4±0．04MPa。