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探針台的作用是什麽?探針台可以将电探针、光学探针或射频探针安排在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。
晶圓檢測是半導體制造中必不可少的辦法,選擇合適的晶圆探針台和探針來進行晶圓檢測也很重要。自主研發的超精密氣浮運動平台具有極高精度和運動穩定性,讓系統在快速運行時,能准確識別和丈量出晶圓的種種缺陷,大大提高晶圓檢測效率。
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