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新聞資訊
低温探針台的优势有哪些？
隨著探針台工艺不断发展，现在探針台的种类很是多 。
1. 满足各种温度的需求（极低温）
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败 。制止这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且堅持整个测试过程泵的运转 。
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重 。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变 。制止这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且堅持整个测试过程泵的运转 。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，把针座设计于腔体外部 。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置 。
2. 体积小，稳定性高
与传统探針台相比，崎嶇温真空探針台的稳定性更高，采用先进的技术工艺，让探針台在事情过程中流畅性更高，平稳性更高，从而保证每次实验数据的稳定性，这样实验得出的结果就会越發准确，对于企业快速研发新産品有很大帮助 。
