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低温探針台的优势有哪些?

2023-02-21 18:13:14

隨著探針台工艺不断发展,现在探針台的种类很是多 。

1. 满足各种温度的需求(极低温)

因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败 。制止这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且堅持整个测试过程泵的运转 。

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重 。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变 。制止这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且堅持整个测试过程泵的运转 。 

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,把针座设计于腔体外部 。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置 。

崎嶇温真空探針台

2. 体积小,稳定性高

与传统探針台相比,崎嶇温真空探針台的稳定性更高,采用先进的技术工艺,让探針台在事情过程中流畅性更高,平稳性更高,从而保证每次实验数据的稳定性,这样实验得出的结果就会越發准确,对于企业快速研发新産品有很大帮助 。


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